晟成光伏首臺TOPCon技術二合一鍍膜設備成功交付

TOPCon是一種基于選擇性載流子原理的隧穿氧化層鈍化接觸太陽能電池技術，2013年由德國Fraunhofer太陽能研究院首次提出。TOPCon電池結構為N型硅襯底電池，在電池背面制備一層超薄氧化硅，然后再沉積一層摻雜硅薄層，二者共同形成了鈍化接觸結構，有效降低表面復合和金屬接觸復合。計算表明，TOPCon電池效率極限28.7%，最接近晶體硅太陽能電池理論極限效率29.43%。近年來， PERC作為行業(yè)主流產(chǎn)品，效率提升漸遇瓶頸，行業(yè)技術焦點正由P型轉向N型。較其他N型電池技術，TOPCon在現(xiàn)有PERC設備基礎上，修改部分工藝即可完成技術升級。因此，TOPCon因其低衰減、效率提升潛力大、產(chǎn)線升級成本低等優(yōu)點，被行業(yè)廣泛關注。自2020年起，晟成光伏開始著手TOPCon電池核心工藝設備研發(fā)。本周，晟成光伏首臺TOPCon技術二合一鍍膜設備正式交付。

針對市面上其他TOPCon光伏電池背鈍化鍍膜設備的優(yōu)缺點進行深入分析，晟成光伏決定采用PECVD鍍膜與低損傷PVD鍍膜相結合的技術方式來制備TOPCon電池的背面隧穿二氧化硅膜層和摻雜非晶（碳化）硅膜層。該技術方式可以有效減少甚至避免目前行業(yè)內LPCVD設備出現(xiàn)的繞鍍問題，以及管式PECVD容易出現(xiàn)的爆膜、石墨舟壽命低及量產(chǎn)不穩(wěn)定的問題，同時又可以進一步規(guī)避采用大尺寸線性離子源依賴進口、造價昂貴和膜層均勻性較差的問題。

晟成光伏TOPCon技術二合一鍍膜設備，其低損傷PVD鍍膜結構設計可以有效提高膜層的鈍化品質，碳化硅膜層的加入可以減少長波段光的吸收損失以及提高TOPCon電池的電流密度。同時，晟成光伏TOPCon技術二合一鍍膜設備的板式鍍膜結構設計具備產(chǎn)能高、鍍膜溫度低、膜層品質優(yōu)異等特點，可兼容M2-M12不同尺寸的硅片，有效提升了TOPCon電池的良品率及量產(chǎn)平均轉換效率，并有助于降低生產(chǎn)能耗和設備硬件成本。

目前晟成光伏開發(fā)的第一代TOPCon技術二合一鍍膜設備命名為晟曜系列，可以根據(jù)客戶產(chǎn)能需求定制不同型號規(guī)格。針對TOPCon技術二合一鍍膜設備可能出現(xiàn)的輕微繞鍍問題，晟成光伏特別開發(fā)了與之匹配的鏈式BOE去繞鍍清洗設備，兩者配套使用，可使設備功能和生產(chǎn)成本達到最優(yōu)化。晟成光伏主要從事光伏行業(yè)智能化裝備的研發(fā)、制造、銷售及服務，公司業(yè)務已經(jīng)覆蓋國內外所有主流光伏企業(yè)，在光伏組件自動化產(chǎn)線細分領域市場份額排名第一。從組件裝備到電池裝備，從自動化裝備到核心工藝裝備，晟成光伏向前邁進的每一步都堅定穩(wěn)健。此次TOPCon技術二合一鍍膜設備交付，再一次證明了晟成光伏的技術創(chuàng)新能力。截止目前晟成光伏在TOPCon、HJT、鈣鈦礦等高效電池及組件裝備領域均有先進技術儲備以及實際產(chǎn)品銷售。

未來晟成光伏將繼續(xù)致力于加速光伏行業(yè)全產(chǎn)業(yè)鏈智能化進程，讓光伏制造更高效、更安全、更輕松，為光伏產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供堅實的裝備力量，為全球新能源發(fā)展注入更多“智造”動能。