蓋錫咨詢-14日SNEC會議筆記 -SNEC(2024)前沿技術(shù)大會-薄膜與鈣鈦礦上針對真空蒸鍍機(jī)在鈣鈦礦與疊層電池產(chǎn)業(yè)化上的應(yīng)用

祝曉釗先生在全球光伏前沿技術(shù)大會（6）：薄膜與鈣鈦礦上針對真空蒸鍍機(jī)在鈣鈦礦與疊層電池產(chǎn)業(yè)化上的應(yīng)用進(jìn)行分享。

首先祝先生介紹了真空蒸鍍優(yōu)勢：

一、高純度

真空蒸鍍是在真空環(huán)境下進(jìn)行的表面處理技術(shù)，因此可以保證在加工過程中不會受到氧化、粘附、污染等因素的影響，從而保證了制品的高純度。

二、高均一性

真空蒸鍍可以使加工件表面形成一層均勻、致密、低缺陷的薄膜，因此制品的表面均一性得到了保證，可以大大提高加工件的性能和品質(zhì)。

三、節(jié)約材料

真空蒸鍍技術(shù)可以使材料利用效率顯著提高，因?yàn)橹恍柙诓牧媳砻嫘纬杀∧?，可以大大縮小材料的用量，從而節(jié)約資源和降低成本。

四、多元化應(yīng)用

真空蒸鍍技術(shù)廣泛應(yīng)用于材料加工、電子元器件、光學(xué)儀器、化學(xué)材料、制藥等領(lǐng)域，可為不同領(lǐng)域的制品提供不同的表面處理方案。

五、環(huán)保節(jié)能

真空蒸鍍技術(shù)在加工過程中不需要使用外部溶劑，不會產(chǎn)生污染和廢棄物，符合環(huán)保節(jié)能要求。其次，介紹了真空蒸鍍技術(shù)在鈣鈦礦制備中的應(yīng)用。蒸鍍CuPC作為空穴傳輸層，器件效率達(dá)20.17%，蒸鍍Spiro-TTB作為空六傳輸層，器件效空達(dá)19.45%。鈣鈦礦層順序蒸鍍法，順序蒸鍍法制備鈣鈦礦層，器件效率26.41%。

最后分享了方昇光電成果，每年為科研院校和企業(yè)提供百余套真空蒸鍍設(shè)備；滿足鈣鈦礦太陽能電池、OLED及QLED制備；光伏客戶：己銷售給30余家光伏企業(yè)（晶硅、鈣鈦礦、OPV），共計(jì)40余臺蒸鎮(zhèn)設(shè)備，市占率第一。

同時(shí)中試型蒸鍍設(shè)備性能國內(nèi)領(lǐng)先，小試型Inline式鈣鈦礦太陽電池蒸鍍設(shè)備，基板尺寸300 mm *300 mm，采用線源和點(diǎn)源，可實(shí)現(xiàn)碘化鋁、C60、BCP、銀、銅、鋁等材料的蒸鍍，已出貨數(shù)臺；小試型團(tuán)族式鈣鈦礦蒸鍍設(shè)備，多腔體設(shè)備，兼容210mmx 210mm玻璃基板與晶園，可集成磁控濺射、ALD等設(shè)備，已銷售數(shù)臺。